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  • 產品名稱: 六氯乙硅烷
  • 英文名稱: Hexachlorodisilane(HCDS)
  • CAS No.: 13465-77-5
  • 分子式: Si2Cl6
  • 分子量: 268.89
  • 規 格: 2N5(ICP-MS 5N)
  • 沸 點: 144-146 ℃
  • 閃 點: 84.5℃
  • 熔 點: -1℃
  • 火災分類: 甲類
  • 物理狀態/顏色: 液體/無色
  • 應 用: 電子材料化學氣相沉積和原子層沉積的前體材料

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